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HDZ-9220

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產(chǎn)品特點(diǎn) 1、應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓ID標(biāo)記，兼容6、8吋晶圓產(chǎn)品；
2、適用于Si/GaAs/SiC等常見(jiàn)的晶圓材料；
3、全自動(dòng)作業(yè)，配備FFU過(guò)濾模塊；
4、配備雙臂機(jī)械手，可選配SMIF上料模塊；
5、遵循SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS/GEM通訊協(xié)議。

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