機器人激光清洗系統
1.激光清洗是基于激光與物質相互作用效應的一項新技術,與傳統的機械清洗法、化學清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機溶劑,無污染,無噪聲,對人體和環境無害,是一種“綠色”清洗技術。
2.激光清洗與機械磨擦清洗、化學腐蝕清洗、液體固體強力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統清洗方法相比,有明顯的優點。它高效、快捷、成本低,對基片產生的熱負荷和機械負荷小,清洗為非損傷;廢物可回收,無環境污染;安全可靠,不損害操作人員健康;可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層;清潔過程易于實現自動化控制,實現遠距離遙控清洗等。
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