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全自動晶圓激光開槽設備

全自動晶圓激光開槽設備

產品特點 1.采用特殊定制的脈沖寬度激光加工,專為晶圓激光加工定制;
2.采用超短脈沖寬度加工,有效提高切割線品質;
3.特殊定制的脈沖寬度開槽后,熱影響區<2um;
4.整合多種激光微加工技術,切割效率和工藝窗口兼備;
5.多種常規切割功能組合切換選擇;
6.采用Mask+TOP-HAT光斑組合模組;
7.經過優化的雙光路加工模組;
8.采用高精度視覺檢測系統;
9.可兼容8英寸和12英寸;
10.自動上下料功能,無人值守全自動運行,批量化生產。

產品應用

應用范圍:Lowk晶圓,GaN晶圓,非lowk晶圓

產品參數

主要參數加工尺寸8inch、12inch
加工速度100mm/s~600mm/s
加工精度≤±3μm
平臺參數600mm*600mm
激光器參數532nm,25W
稼動率>0.95


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